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Fine Metal Mask 缺陷檢查

檢測AOI

光罩開孔孔徑及外觀缺陷檢測結果 : 

(1)按客戶要求檢知孔徑尺寸 , 檢測精度 : 1μm

(2)表面外觀缺陷 : 異物 , 開口缺口 , 凹凸 , 銹斑 , 斷開 , 開口遮蔽 等

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