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CO2 Snow Cleaner 有機化合物清洗機

何謂CO2 Snow Cleaning?

➢CO2 Snow主要由LCO2、氣態CO2&固態CO2微粒(乾冰)三相共存態所構成。

➢藉由CO2三相共存態高速氣體之流場牽引力、及衝擊時動能轉換相變化，已達去除Particle或有機物汙染物之目的。

➢CO2 Snow顆粒為10 ~100 um微粒，由LCO2噴出霧化時所產生，其結構相當柔軟，因此不易傷害產品，且適合微小部位之清潔。

CO2 CLEANER原理.JPG
CO2 Snow Dry Cleaner原理.jpg

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CO2 CLEANER清潔實例分享

1、Wafer有機汙染物實例

BEFORE

CO2 CLEAN實例BEFORE 1.JPG

AFTER

CO2 CLEAN實例AFTER 1.JPG

2、雷射鑽孔加工後積碳實例

BEFORE

CO2 CLEAN實例BEFORE 2.JPG

AFTER

CO2 CLEAN實例AFTER 2.jpg

3、CMOS鏡頭表面實例

BEFORE

CO2 CLEAN實例BEFORE 4.JPG

AFTER

CO2 CLEAN實例AFTER 4.JPG